MEMS مخفف سیستم میکرو موتور است. اندازه کوچک سازی فردی محصول نهایی در سطح میلی متر یا حتی میکرون است. به طور گسترده ای در ارتباطات 5G، نظارت بر امنیت، اتوماسیون صنعتی، الکترونیک خودرو و سایر زمینه ها استفاده می شود. در این مرحله می توان گفت که تقریبا تمامی محصولات الکترونیکی بر روی MEMS اعمال می شوند.
مزایای دستگاه MEMS: اندازه کوچک، وزن سبک، ادغام آسان، مصرف انرژی کم، حساسیت بالا و بسیاری از مزایای دیگر. و قابل تولید انبوه است. اگرچه می توان آن را به صورت انبوه تولید کرد، بسته بندی MEMS جهانی نیست. با توجه به انواع عملکردی اجزای MEMS، ساختار اجزا و روش های بسته بندی متفاوت است و نوع اختصاصی بالاتر است.
معمولاً در این مرحله از فناوری مونتاژ در سطح تراشه استفاده می شود. به طور طبیعی، الزامات کاملاً دقیقی در مورد دقت مونتاژ، محیط عملیاتی و روش های تراز وجود دارد.
مشکلات مونتاژ MEMS در سطح تراشه
1. استاندارد دقت بسته بندی بالا
نرم افزار سیستم MEMS شامل یک رابط سیگنال داده منحصر به فرد، محفظه، دیوار داخلی و ساختارهای دیگر است که دشواری کنترل موقعیت و زاویه را در هنگام برداشت و قرار دادن در طول کل فرآیند اتصال سیم اجزای MEMS و بسترهای چند منظوره افزایش می دهد.
2. مواد شکننده است و به راحتی شکسته می شود
دستگاه های MEMS مانند ریز شتاب سنج ها، میکرو موتورها و غیره عموماً دارای ساختارهای مکانیکی مانند حفره ها یا کنسول های تعبیه شده اند. این سازه ها اندازه کوچکی دارند و از استحکام مکانیکی بسیار کمتری نسبت به تراشه های آی سی برخوردارند. آنها در هنگام مونتاژ و سایر فرآیندها در برابر تماس فیزیکی بسیار آسیب پذیر هستند.
بسیاری از قطعات دستگاه MEMS نه تنها از نظر اندازه کوچک هستند، بلکه شکننده و شکننده هستند، مانند شیارها و سکتورهای عمیق، بنابراین فشار کاری اعمال شده در هنگام اتصال بسیار مهم است. اگر فشار کار خیلی کم باشد، اتصال نزدیک نخواهد بود. اگر فشار کاری بیش از حد بالا باشد، قطعات آسیب خواهند دید.
مشاهده می‌شود که سطوح دقت دقیق و دامنه‌های پیوند، شرایط لازم برای بهبود نرخ عبور نصب فرستنده فرستنده فرکانس رادیویی MEMS هستند.
هنگامی که ضخامت دستگاه MEMS بین 50-150μm باشد، فشار کاری اتصال سیم انتخابی بین 50-100 گرم است و جابجایی چرخش باید کمتر از 0.3 درجه باشد، به طوری که آسیب به قطعات را می توان تا حد زیادی کاهش داد. ، و انطباق را می توان بهبود بخشید. نرخ.
تراز با دقت بالا، نوع پچ، برای اطمینان از نرخ عبور
بازخورد در سطح میکرو برای به دست آوردن اطلاعات دقیق داده، دقت کنترل نیرو ± 0.01N، سطح دقت تکرارپذیری خطی ± 2μm، سطح دقت تکرارپذیری چرخش ±0.01 درجه، انحراف شعاعی کمتر از 10μm، مشخصات وضوح رمزگذار 1μm، موجود در خروجی پایدار حتی در شرایط بالا سرعت عملیات، بهبود نرخ صلاحیت و ثبات.
مکش خلاء، فشار کاری قابل کنترل، کاهش مصرف
موتور دوار خطی Guoao از طراحی توخالی محور Z، سوکت تراشه رزرو شده، مکش خلاء، پلاگین و بازی استفاده می کند و می تواند خدمات سفارشی را بر اساس ساختار و ویژگی های اجزا ارائه دهد.
شامل" فرود نرم" عملکردی که می تواند کنترل نیروی پایدار را در ± 1.5 گرم کامل کند و می تواند پارامترهایی مانند سرعت، شتاب و کنترل نیرو را سفارشی کند، به طوری که سر قرارگیری می تواند اجزای MEMS را با فشار کاری بسیار دقیق لمس کند و کاهش تخلیه را کاهش دهد.
& quot;Z+R" طراحی یکپارچه محور برای افزایش سرعت
راه حل یکپارچه دو محوره ابتکاری ترکیبی از"servo motor + ball screw" به یکی، که به خوبی می تواند مشکل بار خود وزن محور Z را حل کند و آمپر Pick&جزء را کامل کند. مکان، قرار دادن و سایر اقدامات با سرعت و دقت بالا. رانش منحنی صاف است، اوج رانش 8-50 نیوتن، ضربه موثر 10-50 میلی متر است و عمر چرخه فوق العاده بالا تولید کارآمد را امکان پذیر می کند.
